PECVD Komponenten
PLASMAQUELLEN
Zur Erzeugung von Plasmen verwendet man die verschiedensten Typen von Plasmaquellen. Angefangen von der simplen DC Gleichstromentladung, über HF-ECR oder Mikrowellenquellen gibt es viele Möglichkeiten ein Plasma zu erzeugen.
robeko – bietet für die verschiedensten Anwendungen ein breite Auswahl an unterschiedlichen Typen an.
PLASMAQUELLEN
Zur Erzeugung von Plasmen verwendet man die verschiedensten Typen von Plasmaquellen. Angefangen von der simplen DC Gleichstromentladung, über HF-ECR oder Mikrowellenquellen gibt es viele Möglichkeiten ein Plasma zu erzeugen.
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PLASMAQUELLEN
Zur Erzeugung von Plasmen verwendet man die verschiedensten Typen von Plasmaquellen. Angefangen von der simplen DC Gleichstromentladung, über HF-ECR oder Mikrowellenquellen gibt es viele Möglichkeiten ein Plasma zu erzeugen.
robeko – bietet für die verschiedensten Anwendungen ein breite Auswahl an unterschiedlichen Typen an.
PLASMA MONITORING &
PROCESS CONTROL
PROCESS CONTROL
Die Prozesssteuerung ist bei industriellen Plasmaanwendungen unerlässlich, um Zuverlässigkeit und hohe Qualität zu gewährleisten. Das EMICON-System ist ein Plasmamonitorsystem, das auf der optischen Emissionsspektroskopie basiert und in Echtzeit gestattet, die Prozesse in Ihrer Plasmaanwendung zu analysieren, zu optimieren und zu steuern.
PLASMA MONITORING &
PROCESS CONTROL
PROCESS CONTROL
Die Prozesssteuerung ist bei industriellen Plasmaanwendungen unerlässlich, um Zuverlässigkeit und hohe Qualität zu gewährleisten. Das EMICON-System ist ein Plasmamonitorsystem, das auf der optischen Emissionsspektroskopie basiert und in Echtzeit gestattet, die Prozesse in Ihrer Plasmaanwendung zu analysieren, zu optimieren und zu steuern.
PLASMA MONITORING &
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PROCESS CONTROL
Die Prozesssteuerung ist bei industriellen Plasmaanwendungen unerlässlich, um Zuverlässigkeit und hohe Qualität zu gewährleisten. Das EMICON-System ist ein Plasmamonitorsystem, das auf der optischen Emissionsspektroskopie basiert und in Echtzeit gestattet, die Prozesse in Ihrer Plasmaanwendung zu analysieren, zu optimieren und zu steuern.
