PVD-Technologie

APPLIKATIONSZENTRUM

Ein Herausragendes Alleinstellungsmerkmal von robeko ist die Möglichkeit im eigenen Applikationszentrum PVD & PECVD-Verfahren zu untersuchen, zu testen oder zu verifizieren. Dabei kann es sich um die Erprobung von neuen Komponenten, die Entwicklung von Prototypenbeschichtungen oder den Test neuer Materialien handeln. Die Ausstattung mit entsprechenden Anlagen bis hin zur Inlinesputteranlage mit mehreren Stationen lassen eine Prozessführung unter Bedingungen der industrienahen Serienproduktion zu.

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ERIKA | Batch Coater

ERIKA – Batch Coater

ERIKA | Batch Coater

ERIKA – Batch Coater:

  • DC glow discharge plasma treatment
  • 3x 6″ Magnetrons
  • DC, bipolar pulsed and unipolar pulsed power supplies
  • Metallic and reactive oxide and nitride coatings

Datasheet

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DORO | In-Line Coater

DORO – In-Line Coater

DORO | In-Line Coater

DORO – In-Line Coater:

  • Radiant heater -350° C
  • DC glow discharge plasma treatment
  • AC glow discharge plasma treatment
  • SCI Dual Magnetron Plasma Treatment
  • 3x PK 750 Magnetrons
  • 2x SCI internal mount TC end blocks for 550 mm length dual rotatable targets
  • DC, MF, bipolar pulsed and unipolar pulsed power supplies
  • Metallic and reactive oxide and nitride coatings
  • In-Situ reflectometry measurement

Datasheet

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STELLA | Batch & Bulk Ware Coater

STELLA – Batch & Bulk Ware Coater

STELLA | Batch & Bulk Ware Coater

STELLA – Batch & Bulk Ware Coater:

  • AC glow discharge plasma treatment
  • 2x PK 500 Magnetrons
  • DC and unipolar pulsed power supplies
  • Metallic and reactive oxide and nitride coatings
  • Bulk ware coating in tumble drum

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APPLIKATIONSZENTRUM

Ein Herausragendes Alleinstellungsmerkmal von robeko ist die Möglichkeit im eigenen Applikationszentrum PVD & PECVD-Verfahren zu untersuchen, zu testen oder zu verifizieren. Dabei kann es sich um die Erprobung von neuen Komponenten, die Entwicklung von Prototypenbeschichtungen oder den Test neuer Materialien handeln. Die Ausstattung mit entsprechenden Anlagen bis hin zur Inlinesputteranlage mit mehreren Stationen lassen eine Prozessführung unter Bedingungen der industrienahen Serienproduktion zu.

ERIKA | Batch Coater

ERIKA – Batch Coater

ERIKA | Batch Coater

ERIKA – Batch Coater:

  • DC glow discharge plasma treatment
  • 3x 6″ Magnetrons
  • DC, bipolar pulsed and unipolar pulsed power supplies
  • Metallic and reactive oxide and nitride coatings

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DORO | In-Line Coater

DORO – In-Line Coater

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DORO – In-Line Coater:

  • Radiant heater -350° C
  • DC glow discharge plasma treatment
  • AC glow discharge plasma treatment
  • SCI Dual Magnetron Plasma Treatment
  • 3x PK 750 Magnetrons
  • 2x SCI internal mount TC end blocks for 550 mm length dual rotatable targets
  • DC, MF, bipolar pulsed and unipolar pulsed power supplies
  • Metallic and reactive oxide and nitride coatings
  • In-Situ reflectometry measurement

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STELLA | Batch & Bulk Ware Coater

STELLA – Batch & Bulk Ware Coater

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STELLA – Batch & Bulk Ware Coater:

  • AC glow discharge plasma treatment
  • 2x PK 500 Magnetrons
  • DC and unipolar pulsed power supplies
  • Metallic and reactive oxide and nitride coatings
  • Bulk ware coating in tumble drum

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APPLIKATIONS-
ZENTRUM

Ein Herausragendes Alleinstellungsmerkmal von robeko ist die Möglichkeit im eigenen Applikationszentrum PVD & PECVD-Verfahren zu untersuchen, zu testen oder zu verifizieren. Dabei kann es sich um die Erprobung von neuen Komponenten, die Entwicklung von Prototypenbeschichtungen oder den Test neuer Materialien handeln. Die Ausstattung mit entsprechenden Anlagen bis hin zur Inlinesputteranlage mit mehreren Stationen lassen eine Prozessführung unter Bedingungen der industrienahen Serienproduktion zu.

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  • DC glow discharge plasma treatment
  • 3x 6″ Magnetrons
  • DC, bipolar pulsed and unipolar pulsed power supplies
  • Metallic and reactive oxide and nitride coatings

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DORO – In-Line Coater

DORO | In-Line Coater

DORO – In-Line Coater:

  • Radiant heater -350° C
  • DC glow discharge plasma treatment
  • AC glow discharge plasma treatment
  • SCI Dual Magnetron Plasma Treatment
  • 3x PK 750 Magnetrons
  • 2x SCI internal mount TC end blocks for 550 mm length dual rotatable targets
  • DC, MF, bipolar pulsed and unipolar pulsed power supplies
  • Metallic and reactive oxide and nitride coatings
  • In-Situ reflectometry measurement

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STELLA | Batch & Bulk Ware Coater

STELLA – Batch & Bulk Ware Coater

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STELLA – Batch & Bulk Ware Coater:

  • AC glow discharge plasma treatment
  • 2x PK 500 Magnetrons
  • DC and unipolar pulsed power supplies
  • Metallic and reactive oxide and nitride coatings
  • Bulk ware coating in tumble drum

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SCHICHTENTWICKLUNG

Unsere mit 4 Wissenschaftlern mit Abschlüssen in Physik und Chemie besetzte F&E Abteilung ist fokussiert darauf, neue Schichtsysteme für unsere Kunden zu entwickeln und zu erproben. Dabei geht es nicht nur um die Auswahl der richtigen Materialien und Schichtabfolgen, sondern wir unterstützen unsere Kunden auch bei der Auswahl der richtigen Geräte und Methoden um das optimale Ergebnis sicher zu stellen, auch im Hinblick auf die langfristigen Gesamtinvestitionskosten. Dabei unterstützen wir unsere Technologiepartner bei der Neuentwicklung Ihrer Produkte die auf unseren Anlagen getestet werden können.

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Titanoxid

Titanoxid

Titanoxid

In Bearbeitung...

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SCHICHTENTWICKLUNG

Unsere mit 4 Wissenschaftlern mit Abschlüssen in Physik und Chemie besetzte F&E Abteilung ist fokussiert darauf, neue Schichtsysteme für unsere Kunden zu entwickeln und zu erproben. Dabei geht es nicht nur um die Auswahl der richtigen Materialien und Schichtabfolgen, sondern wir unterstützen unsere Kunden auch bei der Auswahl der richtigen Geräte und Methoden um das optimale Ergebnis sicher zu stellen, auch im Hinblick auf die langfristigen Gesamtinvestitionskosten. Dabei unterstützen wir unsere Technologiepartner bei der Neuentwicklung Ihrer Produkte die auf unseren Anlagen getestet werden können.

Titanoxid

Titanoxid

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SCHICHT-
ENTWICKLUNG

Unsere mit 4 Wissenschaftlern mit Abschlüssen in Physik und Chemie besetzte F&E Abteilung ist fokussiert darauf, neue Schichtsysteme für unsere Kunden zu entwickeln und zu erproben. Dabei geht es nicht nur um die Auswahl der richtigen Materialien und Schichtabfolgen, sondern wir unterstützen unsere Kunden auch bei der Auswahl der richtigen Geräte und Methoden um das optimale Ergebnis sicher zu stellen, auch im Hinblick auf die langfristigen Gesamtinvestitionskosten. Dabei unterstützen wir unsere Technologiepartner bei der Neuentwicklung Ihrer Produkte die auf unseren Anlagen getestet werden können.

Titanoxid

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SOFORTANALYSE

Um erhaltene Ergebnisse in kurzer Zeit bewerten zu können, ist es unabdingbar eine gute Grundausstattung an Laborgeräten zur Schichtanalyse verfügbar zu haben. Schnelle, direkte Analysen mit professioneller Ausstattung erlauben es die Parameter der durchgeführten Versuche kurzfristig anzupassen und so die Anzahl der Iterationen zur Ermittlung des optimalen Resultats in kürzester Zeit zu ermöglichen.

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Fischerscope XDAL

Fischerscope XDAL

Fischerscope XDAL

The Fischerscope XDAL is an x-ray fluorescence (XRF) measurement tool for industrial applications. XRF works by exciting the sample material and detecting the characteristic x-ray emission coming from the sample. The collected data can be used to calculate the material composition or the thickness of a multilayer thin film layer stack of a sample. A motorized XYZ unit allows measurement of profiles or x-y film thickness mappings.

Datasheet

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Sentech SE 801

Sentech SE 801

Sentech SE 801

The Fischerscope XDAL is an x-ray fluorescence (XRF) measurement tool for industrial applications. XRF works by exciting the sample material and detecting the characteristic x-ray emission coming from the sample. The collected data can be used to calculate the material composition or the thickness of a multilayer thin film layer stack of a sample. A motorized XYZ unit allows measurement of profiles or x-y film thickness mappings.

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DEKTAK II A

DEKTAK II A

DEKTAK II A

The Bruker Dektak II A is a tactile profilometer for measuring surface roughness or film thickness on prepared samples.
Tactile profilometers measure the force against a small needle and that is moved lateral to the sample. This force is kept constant by changing the position of that needle via a small piezo in Z direction. The piezo movement is logged and gives a height profile of the sample.

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SOFORTANALYSE

Um erhaltene Ergebnisse in kurzer Zeit bewerten zu können, ist es unabdingbar eine gute Grundausstattung an Laborgeräten zur Schichtanalyse verfügbar zu haben. Schnelle, direkte Analysen mit professioneller Ausstattung erlauben es die Parameter der durchgeführten Versuche kurzfristig anzupassen und so die Anzahl der Iterationen zur Ermittlung des optimalen Resultats in kürzester Zeit zu ermöglichen.

Fischerscope XDAL

Fischerscope XDAL

Fischerscope XDAL

The Fischerscope XDAL is an x-ray fluorescence (XRF) measurement tool for industrial applications. XRF works by exciting the sample material and detecting the characteristic x-ray emission coming from the sample. The collected data can be used to calculate the material composition or the thickness of a multilayer thin film layer stack of a sample. A motorized XYZ unit allows measurement of profiles or x-y film thickness mappings.

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Sentech SE 801

Sentech SE 801

Sentech SE 801

The Fischerscope XDAL is an x-ray fluorescence (XRF) measurement tool for industrial applications. XRF works by exciting the sample material and detecting the characteristic x-ray emission coming from the sample. The collected data can be used to calculate the material composition or the thickness of a multilayer thin film layer stack of a sample. A motorized XYZ unit allows measurement of profiles or x-y film thickness mappings.

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DEKTAK II A

DEKTAK II A

DEKTAK II A

The Bruker Dektak II A is a tactile profilometer for measuring surface roughness or film thickness on prepared samples.
Tactile profilometers measure the force against a small needle and that is moved lateral to the sample. This force is kept constant by changing the position of that needle via a small piezo in Z direction. The piezo movement is logged and gives a height profile of the sample.

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SOFORT-
ANALYSE

Um erhaltene Ergebnisse in kurzer Zeit bewerten zu können, ist es unabdingbar eine gute Grundausstattung an Laborgeräten zur Schichtanalyse verfügbar zu haben. Schnelle, direkte Analysen mit professioneller Ausstattung erlauben es die Parameter der durchgeführten Versuche kurzfristig anzupassen und so die Anzahl der Iterationen zur Ermittlung des optimalen Resultats in kürzester Zeit zu ermöglichen.

Fischerscope XDAL

Fischerscope XDAL

Fischerscope XDAL

The Fischerscope XDAL is an x-ray fluorescence (XRF) measurement tool for industrial applications. XRF works by exciting the sample material and detecting the characteristic x-ray emission coming from the sample. The collected data can be used to calculate the material composition or the thickness of a multilayer thin film layer stack of a sample. A motorized XYZ unit allows measurement of profiles or x-y film thickness mappings.

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Sentech SE 801

Sentech SE 801

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The Fischerscope XDAL is an x-ray fluorescence (XRF) measurement tool for industrial applications. XRF works by exciting the sample material and detecting the characteristic x-ray emission coming from the sample. The collected data can be used to calculate the material composition or the thickness of a multilayer thin film layer stack of a sample. A motorized XYZ unit allows measurement of profiles or x-y film thickness mappings.

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DEKTAK II A

DEKTAK II A

DEKTAK II A

The Bruker Dektak II A is a tactile profilometer for measuring surface roughness or film thickness on prepared samples.
Tactile profilometers measure the force against a small needle and that is moved lateral to the sample. This force is kept constant by changing the position of that needle via a small piezo in Z direction. The piezo movement is logged and gives a height profile of the sample.

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