PVD-KOMPONENTEN2019-10-01T12:08:21+02:00

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KOMPONENTEN

ROHRKATHODEN
ROHRKATHODEN

ROHRKATHODEN

Sputtering Components, Inc. ist der weltweit führende Anbieter von zu- verlässigen und preiswerten End-blöcken für Rohrkathoden, kompletten Kathodendeckeln und Magnetsystemen nach dem neuesten Stand der Technik. Alle SCI-Produkte ermöglichen dem Endbenutzer schnelle, kostengünstige, hausinterne Wartungsarbeiten. Dies ermöglicht die im Vergleich niedrigsten Gesamtinvestitionskosten. robeko ist exklusiver Vertriebs- und Service-partner von Sputtering Components für Mittel- und Osteuropa.

PRODUKTDETAILS
PLANARKATHODEN
PLANARKATHODEN

PLANARKATHODEN

Die einzigartigen IONIX Magnetron-Sputterquellen verfügen über eine flexible Architektur, um den teilweise widersprüchlichen Leistungsanforder-ungen der modernen Vakuumbe-schichtungstechnologie gerecht zu werden. Das IONIX-Konzept basiert auf maximaler Zuverlässigkeit, anpass-ungsfähigem Magnetarray-Layout und vielseitigem Design, um sich an die spezifischen Anwendungen des Kunden anzupassen.
robeko ist seit 2017 Vertriebspartner für Thin Film Consulting.

PRODUKTDETAILS
HF-GENERATOREN
HF-GENERATOREN

HF-GENERATOREN

robeko bietet Produkte der Seren IPS Inc. an, einem führenden Hersteller von elektrischen Generatoren und Zubehör für die Erzeugung und Einspeisung von HF Leistung für Plasma- und andere Anwendungen.
Seren IPS. Inc. sichert durch kontinuierliche Produktentwicklung in Verbindung mit erstklassigem Applications Engineering den Erfolg unserer Kunden.
Der Vertrieb für Seren IPS Inc. in Europa wird gemeinsam mit der RF-Industrie in Großbritannien durchgeführt.

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PULS GENERATOREN
PULS GENERATOREN

PULS GENERATOREN

Die MAGPULS – Puls Generatoren bieten höchste Flexibilität und höchste Leistung für Plasmanitrierungs-prozesse, Vorspannungsanwendungen und Magnetron-Sputtern, einschließ-lich ambitionierter reaktiver und HIPIMS-Prozesse.

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PLASMA MONITORING & PROCESS CONTROL
PLASMA MONITORING & PROCESS CONTROL

PLASMA MONITORING & PROCESS CONTROL

Die Prozesssteuerung ist bei industriellen Plasmaanwendungen unerlässlich, um Zuverlässigkeit und hohe Qualität zu gewährleisten. Das EMICON-System ist ein Plasma-monitorsystem, das auf der optischen Emissionsspektroskopie basiert und in Echtzeit gestattet, die Prozesse in Ihrer Plasmaanwendung zu analysieren, zu optimieren und zu steuern.

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PLASMADIAGNOSTIK
PLASMADIAGNOSTIK

PLASMADIAGNOSTIK

Das exakte Messen von Prozessparametern ist entscheidend für den Erfolg in der Dünnschichttechnologie. In wenigen Bereichen ist die Prozessstabilität und Wiederholbarkeit so wichtig wie bei der Erzeugung von Schichten im Nanometerbereich. Die Mess- und Sensortechnik von impedans ermöglicht Zugang zu Bereichen an der Grenze des Möglichen.

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