Beschreibung
Sputtertarget | Tantal (Ta) | 101,6 x 6,3 mm | 99,9%
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Tantal (Ta) | Allgemeine Information
Tantal wird im Periodensystem als Übergangsmetall eingestuft und gilt als eines der hochkorrosionsbeständigen Refraktärmetalle. Tantal hat einen Schmelzpunkt von 3.017 °C, eine Dichte von 16,6 g/cm³ und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 2.590 °C. Es ist metallisch grau-blau mit auffallend ähnlichen chemischen Eigenschaften wie Niob.
Es wird hauptsächlich zur Herstellung von chirurgischen Implantaten verwendet, da es nicht toxisch ist. Es wird auch als Kondensator für die Elektronik verwendet und kann mit anderen Metallen legiert werden, um Festigkeit und Haltbarkeit zu erhöhen. Tantal wird zusammen mit seinen Legierungen und Verbindungen unter Vakuum zu Halbleitern, optischen Beschichtungen, magnetischen Speichermedien sowie verschleiß- und korrosionsbeständigen Beschichtungen verdampft.
Tantal (Ta) | Detaillierte Spezifikation
Werkstofftyp | Tantal |
Symbol | Ta |
Atomares Gewicht | 180,94788 |
Ordnungszahl | 73 |
Farbe/Aussehen | metallisch, Graublau |
Wärmeleitfähigkeit | 57 Watt/m.K |
Schmelzpunkt | 3.017 °C |
Wärmeausdehnungskoeffizient | 6,3 x 10-6/K |
Theoretische Dichte | 16,6 g/cm³ |
Z-Verhältnis | 0,262 |
Sputter | Gleichspannung |
Max. Leistungsdichte | 100 Watt/Quadratzoll * |
Bondingart | Indium, Elastomer |
Bemerkungen | Bildet gute Schichten |
* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.