Beschreibung

Sputtertarget | Silizium (Si) | 101,6 x 6,3 mm | 99,999%

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Sputtertargets Silizium SiSputtertargets Silizium Si

Silizium (Si) | Allgemeine Information

Silizium ist ein klassisches Halbmetall und weist daher sowohl Eigenschaften von Metallen als auch von Nichtmetallen auf. Reines, elementares Silicium besitzt eine grau-schwarze Farbe und weist einen typisch metallischen, oftmals bronzenen bis bläulichen Glanz auf.

Silizium ist ein Elementhalbleiter. Wie nur wenige andere Stoffe (wie Wasser) weist Silizium eine Dichteanomalie auf: Seine Dichte ist in flüssiger Form höher als in fester.

Silizium (Si) | Detaillierte Spezifikation

WerkstofftypSilizium
SymbolSi
Atomares Gewicht28,0855
Ordnungszahl14
Farbe/AussehenDunkelgrau mit bläulicher Färbung,
halbmetallisch
Wärmeleitfähigkeit150 Watt/m.K
Schmelzpunkt1.410 °C
Wärmeausdehnungskoeffizient2,6 x 10-6/K
Theoretische Dichte2,32 g/cm³
Z-Verhältnis0,712
SputterRF
Max. Leistungsdichte20 Watt/Quadratzoll *
BondingartIndium, Elastomer
BemerkungLegiert mit W;
schweres W-Schiffchen
verwenden. SiO produziert.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.