Beschreibung
Sputtertarget | Silizium (Si) | 101,6 x 6,3 mm | 99,999%
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Silizium (Si) | Allgemeine Information
Silizium ist ein klassisches Halbmetall und weist daher sowohl Eigenschaften von Metallen als auch von Nichtmetallen auf. Reines, elementares Silicium besitzt eine grau-schwarze Farbe und weist einen typisch metallischen, oftmals bronzenen bis bläulichen Glanz auf.
Silizium ist ein Elementhalbleiter. Wie nur wenige andere Stoffe (wie Wasser) weist Silizium eine Dichteanomalie auf: Seine Dichte ist in flüssiger Form höher als in fester.
Silizium (Si) | Detaillierte Spezifikation
| Werkstofftyp | Silizium |
| Symbol | Si |
| Atomares Gewicht | 28,0855 |
| Ordnungszahl | 14 |
| Farbe/Aussehen | Dunkelgrau mit bläulicher Färbung, halbmetallisch |
| Wärmeleitfähigkeit | 150 Watt/m.K |
| Schmelzpunkt | 1.410 °C |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 2,6 x 10-6/K |
| Theoretische Dichte | 2,32 g/cm³ |
| Z-Verhältnis | 0,712 |
| Sputter | RF |
| Max. Leistungsdichte | 20 Watt/Quadratzoll * |
| Bondingart | Indium, Elastomer |
| Bemerkung | Legiert mit W; schweres W-Schiffchen verwenden. SiO produziert. |
* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.
