Sputteranlage in Betrieb genommen

Sputteranlage in Betrieb genommen

Am 25.4.2012 wurde unsere erste Sputteranlage in Betrieb genommen. Eine im November 2011 beschaffte, gebrauchte Aufdampfanlage A700Q wurde mit einer neuen Steuerung sowie 6″ Sputterquellen ausgerüstet. Je nach Verwendung können bis zu drei dieser Quellen gleichzeitig in der Anlage betrieben werden. Haupteinsatzgebiet wird zunächst die Entwicklungsarbeit im BMBF Projekt “ERaBond” zur Entwicklung reaktiver Multischichten für Raumtemperatur-Bondprozesse sein.

Daneben und später als Hauptanwendung wird die Sputteranlage zur Metallisierung unserer zu bondenden Sputtertargets.
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2020-06-22T17:30:30+02:0009. Mai 2012|