Nach Ausbau der Anlagensteuerung sowie Integration eines Reaktivgasreglers “speedflo Mini” ist der Aufbau unserer Inline-Sputteranlage vorerst abgeschlossen. Die Anlage bietet im aktuellen Zustand umfangreiche Möglichkeiten wie Sputtern von Doppel-Rohrkathoden, drei Planarkathoden, einer Plasma (PECVD)-Quelle unter Verwendung einer Vielzahl aktuellster Generatortechnologien unterschiedlicher führender Hersteller.