Inline Sputteranlage ZV1200 fertiggestellt

Inline Sputteranlage ZV1200 fertiggestellt

Nach Ausbau der Anlagensteuerung sowie Integration eines Reaktivgasreglers „speedflo Mini“ ist der Aufbau unserer Inline-Sputteranlage vorerst abgeschlossen. Die Anlage bietet im aktuellen Zustand umfangreiche Möglichkeiten wie Sputtern von Doppel-Rohrkathoden, drei Planarkathoden, einer Plasma (PECVD)-Quelle unter Verwendung einer Vielzahl aktuellster Generatortechnologien unterschiedlicher führender Hersteller.

2019-06-18T12:52:41+01:0027. Januar 2015|