Aufbau einer weiteren Sputteranlage

Aufbau einer weiteren Sputteranlage

Im Rahmen des vom BMBF geförderten Projektes “ERaBond” wird derzeit eine weitere Sputteranlage zur Abscheidung von Multilagenschichten aufgebaut. Die Basis der Maschine bildet das Prozessmodul einer gebrauchten Leybold Inline-Anlage des Typs ZV1200. Diese wird mit einer speziellen Automatisierung versehen welche die vollautomatische Abscheidung reaktiver Multilagenschichten ermöglicht.

Die Anlage ist für die beidseitige Beschichtung von Substraten eingerichtet. Eine Seite wird mit 3 Planarkathoden PK750 ausgestattet, auf der zweiten Seite werden eine Doppelrohrkathode und eine Planarkathode installiert. Hier einige Bilder der Anlage in der Aufbau- und Umrüstungsphase. Die Inbetriebnahme ist für Mitte Juni 2013 vorgesehen.
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2020-06-22T17:29:46+02:0015. Mai 2013|