Unser umfangreiches Sortiment umfasst Rundquellen und Rechteckquellen für Targetabmessungen zwischen 50 mm und 4.000 mm.

Allen gemeinsam sind das sorgsam berechnete Magnetfeld, das durchdachte Design und ein vielfältiges Zubehör. Bei allen Sputterquellen können Sie zwischen verschiedenen Magnetfeldoptionen wählen.

Unsere Rechteckquellen zeichnen sich durch eine hohe Materialausnutzung (> 40%) aus und sind daher besonders wirtschaftlich.

Sie sind wartungsarm und verfügen über vielfältige Einbauvarianten.

Im Bereich Rundquellen ist der Technologieführer Sputtering Components Inc. unser Partner.

Rundquellen sind besonders wirtschaftlich einsetzbar:

Eine extrem hohe Materialausbeute (> 70%) wird auch im MF-Betrieb durch optimale Abschirmung und Leistungszufuhr erzielt.

Sie besitzen eine höhere Standzeit, da mehr Material aufgebracht werden kann.

Die Modellierung des Magnetfeldes entfällt und reduziert somit Kosten.

Zudem sind Rundquellen sehr wartungsfreundlich:

Ein Endblock für Leistungs- und Kühlwasserzuführung halbiert die Anzahl der Vakuumdichtungen und damit den Reparaturaufwand. Oft ist ein Retrofit an die bestehende Flansche möglich.

Durch das einfache Design kann ein Targetwechsel in wenigen Minuten erfolgen.