Zylindermagnetrons haben im Vergleich zu planaren Targets effektiv mehr Material auf dem Rohr und verfügen dadurch über eine hohe Standzeit.

Die Materialausbeute ist extrem hoch (> 70 %), so dass Zylindermagnetrons bei der Großflächenbeschichtung auf kontinuierlich arbeitenden Maschinen, wie beispielsweise Inline-Anlagen in der Architekturglas-, Solarzellen-, Automobilglas- und Flachbildschirmbeschichtung, besonders wirtschaftlich eingesetzt werden können.

Was unsere Zylinderquellen so besonders macht: Während herkömmliche Zylindermagnetrons über zwei Endblöcke verfügen, benötigen unsere Zylinderquellen lediglich einen Endblock, der sich an einem Ende des Targetrohrs befindet.

Wir liefern neben einzelnen Endblöcken auch einbaufertige Drop-In-Kathoden, inkl. Flansch, Antrieb, atmosphärenseitiger Abdeckung, Kühlwasser- und Stromanschlüssen. Eine weitere Besonderheit: Unsere Rohrmagnetrons können durch platzsparendes Design auch in älteren Leybold-Anlagen eingesetzt werden, was dort aufgrund der geringen Anlagenbreite bisher nicht möglich war.

Zusammen mit unserem Partner SCI bieten wir Magnetsysteme für alle gängigen Zylindermagnetrons.

• SCI Magnet Assemblies can be made to fit your existing end blocks.
  
• SCI Magnet Assemblies are built with carefully matched magnets and also tested after assembly to fall within a + or - 2% variation over the length for superior uniformity and target utilization.
  
• Magnet Assemblies are also easily adjusted in any area to obtain the desired uniformity profile along the length.
  
  Magnet assemblies are versatile:
  
  • Built with encapsulated high strength rare earth magnets to run much thicker targets or even ferrous materials. Running thicker targets can drastically increase run time until target change, while saving thousands in target costs!
    
  • Custom design magnet bars to your specifications and needs. Triple row balanced or single row unbalanced.
    

Easily adjusted to run with larger ID targets

Wasserdichte Kapselungen für Magnetsysteme

Robeko hat eine innovative Methode entwickelt, um die Lebensdauer von Magnetsystemen älterer Rohrmagnetrons, insbesondere BOC-Kathoden der ersten Generation, Version 1.0, erheblich zu verlängern.
Bei diesen liegen die Magnete im Kühlwasser, so dass die Demagnetisierung und Korrosion nur eine Frage der Zeit sind. Was folgt, ist der Austausch, der mit Kosten und Zeitaufwand verbunden ist.

Um diesen Prozess zu verhindern, haben wir wasserdichte Kapselungen für Magnetsysteme entwickelt. Die Magnete werden mit Edelstahl ummantelt, was deren Lebensdauer nahezu unbegrenzt verlängert. Wichtig: Die Kapselung hat keinen Einfluss auf die Prozessparameter.

Wir fertigen Kapselungen nach Maß, in der Regel für alle Magnetsysteme.
Schnell, flexibel und individuell. Auf Wunsch inklusive neuer Magnete.