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Komponenten für die Dünnschichttechnik
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Zylindrische Sputterquellen

Rohrkathoden (e-cathodes) für Glasbeschichtung

robeko vertritt exklusiv in Zentraleuropa Sputtering Components, Inc. (SCI), einen weltweit führenden Hersteller von zylindrischen Sputterquellen und Komponenten mit mehr als 3000 Installationen in den Einsatzgebieten Architekturglasbeschichtung, Photovoltaik, Display und optische Schichten.

Vorteile von Rohrkathoden sind hohe Standzeit durch grosses Materialdepot sowie hohe Targetausbeuten sowie geringere Partikelbildung als bei Planaren Sputterquellen und bessere Prozesstabilität.

Die Systeme von SCI zeichnen sich durch eine einfache und robuste sowie wartungsfreundliche Konstruktion aus. Basis der Technologie ist der Endblock in seinen verschiedenen Varianten als Drop-In und Cantilever. Zusammen mit ausgefeilten Magnetsystemen formen wir integrierte Sputterquellen zur direkten Verwendung in der Anlage und Kommunikation mit der Anlagensteuerung.