English
Français

Komponenten für die Dünnschichttechnik
Sie befinden sich hier: Prozesstechnik / Sputterquellen / Planare Sputterquellen

Planare Sputterquellen

robeko bietet planare Sputterquellen für die Einsatzgebiete Verschleißschutz, Display, Glasbeschichtung, Solar sowie Forschung und Entwicklung.

Unser Verständnis des Sputterprozesses, die Auslegung eines passenden Magnetfeldes sowie produktionstaugliche und robuste mechanische Umsetzung sind Grundlage des Erfolges unserer Produkte.

Die Sputterquellen sind lieferbar in runder (D=50mm bis D=400 mm) sowie rechteckiger (Targetlängen bis 3800 mm) Ausführung. Varianten hierbei sind externe oder interne Montage sowie Cantilever.

Gemeinsame Konstruktionsprinzipien für alle unsere planaren Sputterquellen sind:

- Grosse Auswahl an Hocheffizienten Magnetsysteme, auf Wunsch prozessoptimiert

- Magnete nicht im Kühlwasser liegend

- Membrankühlung oder direkt gekühlte Rückplatte

- vielfältige mechanische Optionen

- robuste Ausführung mit großen Schrauben

- einfache Wartung

- 3D-Konstruktion