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Komponenten für die Dünnschichttechnik
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Prozessgas Überwachung und -regelung

Seit Januar 2016 ist robeko Vertriebspartner der PLASUS GmbH aus Mering bei Augsburg.

PLASUS ist führender Hersteller von emissionsspektroskopischen Plasmamonitorsystemen. Seit 20 Jahren entwickeln das Unternehmen Komplettlösungen für Industrieanlagen und den F&E-Bereich zum Plasmamonitoring, zur Prozesskontrolle, zur Prozessregelung, zur Prozessoptimierung, zur Qualitätskontrolle sowie zur spektroskopischen Plasmaanalyse.

EMICON MC

 

 

 

Die EMICON MC Systeme eignen sich für fast jede Anwendung in der Plasmatechnologie zur Plasmaanalyse, zum Plasmamonitoring, zur Prozessoptimierung, zur Qualitätssicherung und zur Prozessregelung. Die schlüsselfertigen EMICON MC Systeme sind mit allen notwendigen Eigenschaften ausgerüstet, um typische Prozessplasmen zu beobachten und in bestehende Anlagensteuerungen integriert werden zu können.

Mit einem Spektralbereich von 200-1100 nm decken die Spektrometereinheiten des EMICON MC Systems den UV-VIS-NIR Bereich ab. Das EMICON MC System kann mit bis zu acht Spektrometerkanälen ausgestattet werden bei gleicher Geschwindigkeitsperformance bezüglich Datenerfassung und Datentransfer. Der gesamte Datentransfer wird jetzt über eine USB 2.0 Schnittstelle abgewickelt, sodass auch mit einem Notebook Steuerungs- und Regelungsaufgaben realisiert werden können.
Die EMICON Software bietet umfangreiche Funktionen für das Plasmamonitoring, für die Plasmaanalyse und für die Prozessregelung: Vorlagenmanager, Spektrenarithmetik in Echtzeit, Wiedergabe von gespeicherten Messdaten, automatische Erfassung der Regelkurve und vieles mehr.

EMICON SA

 

 

Die EMICON SA Systeme sind speziell für den Einsatz zur Prozessregelung und zur Qualitätssicherung in Industrieanlagen und Produktionslinien entwickelt worden. Die integrierte Prozessoreinheit ermöglicht einen 24/7 Stand-Alone Betrieb und die einfache Integration des Systems z.B. per LAN oder Profibus in die Anlagensteuerung.

 

Mit einem Spektralbereich von 200-1100 nm decken die Spektrometereinheiten des EMICON SA Systems den UV-VIS-NIR Bereich ab. Das EMICON SA System kann mit bis zu acht Spektrometerkanälen ausgestattet werden. Zusätzlich stehen mehrere Spannungseingänge zur Verfügung für die Erfassung und Verarbeitung externer Sensorsignale, z.B. von Lambdasonden oder der Targetspannung. Über die EMICON SA Managersoftware werden die Systemeinstellungen per LAN-Verbindung vorgenommen. Die Anlagenintegration erfolgt über Profibus oder LAN.
Das EMICON SA System bietet umfangreiche Funktionen für das Plasmamonitoring und für die Prozessregelung: Rezeptmanager, Spektrenarithmetik in Echtzeit, Wiedergabe von gespeicherten Messdaten, automatische Erfassung der Regelkurve und vieles mehr.

EMICON HR

 

 

Das EMICON HR System ist ein spektral hochauflösendes Spektrometersystem und eignet sich besonders für die detailierte spektrale Plasmaanalyse und zum Plasmamonitoring aber auch zur Qualitätssicherung und zur Prozessregelung. Das einkanalige EMICON HR System ist mit allen notwendigen Eigenschaften ausgerüstet, um Prozessplasmen zu beobachten und detailiert zu analysieren.

 

Mit einem Spektralbereich von 200-860 nm deckt das EMICON HR Systems die wichtigen Teile der UV-VIS-NIR Bereiche ab. Mit einer 10fach besseren spektralen Auflösung im Vergleich zu den Standardsystemen ermöglicht das EMICON HR die wesentlich bessere spektrale Trennung von benachbarten Atomlinien und Vibrations- und Rotationslinien in Molekülbanden. Durch die kompakte Bauform ohne bewegliche Teile und die Datenübermittelung über eine USB 2.0 Schnittstelle kann das EMICON HR System einfach und problemlos transportiert und an verschiedenen Anwendungen eingesetzt werden.
Die EMICON Software bietet umfangreiche Funktionen für die Spektrenauswertung, für die Plasmaanalyse und für das Plasmamonitoring: Spektrenarithmetik in Echtzeit, Wiedergabe von gespeicherten Messdaten, Vorlagenmanager und vieles mehr.