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Komponenten für die Dünnschichttechnik
Sie befinden sich hier: Prozesstechnik / Plasmageneratoren / DC gepulst

Overview

Pulseinheiten

Die Pulseinheiten von Magpuls dienen zur Anregung uni- und bipolarer Plasmen zur Oberflächenmodifikation im Vakuum.

Typische Anwendungsgebiete sind PECVD, Magnetronsputtern, Plasmanitrieren. Ein neue Technik ist das Magnetronsputtern mit Hochleistungspulsen, HiPIMS oder HPPMS.

Die Pulseinheiten werden zwischen den DC-Generatoren und dem Verbraucher geschaltet und sind als unipolare, bipolare sowie HiPIMS Versionen erhältlich. Die Leistungsklassen liegen zwischen 1kW und 600kW.

Wir liefern sowohl Pulseinheiten als auch komplette Schaltschränke in denen DC-Generator und Pulser integriert werden.


Unipolare Pulseinheiten

Unipolare Pulsstromversorgungen der Serie MAGPULS UP

Die unipolaren Pulsstromgeneratoren sind modular aufgebaut und bestehen aus einer DC-Leistungseinheit und der eigentlichen Pulseinheit, welche die Spannung mit einer frei einstellbaren Pulsfrequenz auf das Plasmasystem schaltet.
Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden.

Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Parameterwerte über eine Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus über einen externen Rechner gesteuert werden.

Einsatzgebiete:

Die unipolaren Pulsstromgeneratoren der Serie MAGPULS UP sind für anspruchsvolle Plasmaprozesse mit hohem ARC-Verhalten bestens geeignet. Durch ihren weiten Leistungsbereich liefern sie höchste Leistungen und eignen sich für die folgenden Anwendungen:

  • Bias-Versorgung für PE-CVD- und PVD - Prozesse
  • Puls-Plasma Nitrieren
  • Single Magnetron Sputtern

Eigenschaften und Nutzen:

Frequenz- und Pulsparameter frei einstellbar -> universeller Einsatz an unterschiedlichen Prozessen mit einem Generator

Schnelle ARC-Erkennung und -Abschaltung -> Vermeidung von Tröpfchenbildung und Oberflächendefekten

Spannungsregelung von 10V bis 1000V -> Höchste Flexibilität bei Bias unterstützte Beschichtungsprozesse mit Plasma-Vorbehandlung durch Plasma Ätzen oder Reinigen

Schnelle DSP-Kontrolle -> Hohe Prozessstabilität

 

Bipolare Pulseinheiten

Bipolare Pulsstromversorgungen der Serie MAGPULS BP

Die bipolaren Pulsstromgeneratoren dienen zur Plasmaanregung auf höchstem Niveau. Mit ihrem modularen Aufbau bestehen sie aus der DC-Leistungseinheit und der nachgeschalteten bipolaren Pulseinheit, welche die Spannung mit einer frei einstellbaren Pulsfrequenz mit wechselnder Polarität auf das Plasmasystem schaltet.

Mit einem Leistungsbereich von 1kW bis zu 600KW und dem einstellbaren Frequenzbereich von DC bis zu 100kHz bieten diese Pulsstromgeneratoren ein flexibles Angebot für alle Sputteranwendungen sowie höchst anspruchsvolle Plasma-CVD- und PVD-Prozesse. Im Gegensatz zu vielen MF-Generatoren kommen die MAGPULS BP Generatoren ohne zusätzliche Anpassungsnetzwerke aus. Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden.

Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Pulsstromversorgungen über eine Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus durch einen externen Rechner gesteuert werden.

Einsatzgebiete:

Die bipolaren Pulsstromgeneratoren der Serie MAGPULS BP sind für alle anspruchsvollen Plasmaprozesse mit höchstem Anspruch geeignet. Durch den weiten Leistungsbereich und der frei einstellbaren Pulsfrequenz eignen sich diese Pulsstromgeneratoren hervorragend zur Plasmaanregung bei der Herstellung von dekorativen Schichten, Hartstoffbe-schichtungen, in der Herstellung von Flachbildschirmen sowie für großflächige Sputteranwendungen, insbesondere Doppel-Magnetron-Sputtern, für Architekturglas, Folien- und Textilbeschichtung.

Eigenschaften und Nutzen:

Frequenz- und Pulsparameter frei für positive -> universeller Einsatz an unter- und negative Polarität einstellbar schiedlichen Prozessen mit einem Generator

5 Pulsmodi von DC über unipolaren Pulsmod -> Flexibel über alle Prozessan- bis bipolaren Pulsmod forderungen durchgängig einstellbar

Spannungsregelung von 10V bis 1000V -> Höchste Flexibilität bei Bias unterstützte Beschichtungsprozesse mit Plasma, Vorbehandlung durch Plasma Ätzen oder Reinigen

Präzise ARC-Erkennung und -Abschaltung -> Vermeidung von Tröpfchenbildung und Oberflächendefekten

Schnelle DSP-Kontrolle -> Hohe Prozessstabilität