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Komponenten für die Dünnschichttechnik
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Mikrowellenplasmaquelle

robeko bietet eine am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) entwickelte zirkulare Mikrowellenplasmaquelle.

Hauptmerkmal der Plasmaquelle ist ein parabolischer Reflektor mit dem die Mikrowellenleistung in den Prozessraum eingestrahlt wird. Wichtige Eigenschaften der Quelle sind:

  • Arbeitsdruck identisch zu Sputterpressen
  • Sehr niedrige Ionenenergien: 2eV - 10eV
  • Hohe Ionenstromdichten von 1mA/cm2 auch bei Abstand 250 mm

Die Quelle ermöglicht PVD/PECVD-Hybridprozesse, die unter anderem die Hochrateabscheidung von kohlenstoffbasierten verschleißarmen Nanokompositen erlauben.

Die Mikrowellenplasmaquellen sind derzeit als Rundquellen mit Vakumflansch gem DN 200 ISO-F mm erhältlich.Die Leistungsklassen betragen 1, 2 und 3 kW, Ansteuerung erfolgt Analog oder über CAN-Bus. 

Weitergehende Informationen erhalten Sie in folgendem Datenblättern:

MIRO-200-CI Analog

MIRO-200-CI CAN-Bus