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Komponenten für die Dünnschichttechnik
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Hardwarekomponenten für Dünnschichtprozesse

Im Bereich Prozesstechnik bieten wir Anlagenkomponten zur Herstellung von dünnen Funktionschichten durch vakuumgestützte Plasmaverfahren.Dies bedeutet bei uns zunächst: Sputtertechnologie (zu Deutsch: Kathodenzerstäubung). Mit dieser Technik lassen sich moderne Produkte unserer Zeit wie z.B. Touch Panel Displays, Halbleiter, Flachbildschirme, Architekturglas, Verschleißschutzschichten auf Werkzeugen und Gebrauchsgegenstände und viele weitere Produkte, die uns täglich begegnen, herstellen.

Wir arbeiten mit technolgisch führenden Herstellern von zylindrischen und planaren Sputterquellen, Plasmastromversorgungen (DC, gepulst und Rf) sowie Reaktivgasreglern und Ionenquellen zusammen. Ergänzt durch Sonderkomponenten aus eigener Fertigung (z.B. Kathodenumgebungen) bieten wir damit ein komplettes Programm zur Ausrüstung einer Vakuumbeschichtungsanlage mit Prozesstechnik.

Ergänzt wird das Komponentenprogramm durch optionale Installation und Inbetriebnahme an Ihrer Anlage.