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Komponenten für die Dünnschichttechnik

Retrofits

robeko liefert speziell angepasste Komponenten für bestehende Anlagen.

In der Vergangenheit wurden kundenspezifische Rohrkathoden und Beschichtungsprozesse entwickelt und geliefert. Beispiele sind:

  • Doppelrohrkathode für existierende vertikale Inlinesputteranlage zur Beschichtung von Flachglas. Die Kathode wurde inkl. Gasverteilung, Gasmischer, Reaktivgasregler und einem Grundprozess geliefert
  • Umrüstung einer Grossflächenglasbeschichtungsanlage von Planar- auf Rohrkathoden
  • Umrüstung einer vertikalen Inlinesputteranlage im R&D Bereich eines Großkonzerns auf Rohrkathoden durch Vor Ort Montage