Planare Sputterquellen

Seit 2002 vertritt robeko Gencoa Ltd., Liverpool, den Technologieführer im Bereich planare Sputterquellen, Magnetfeldauslegung und Sputterprozesse.

Einsatzgebiete der planaren Sputterquellen von Gencoa sind Verschleißschutz, Display, Glasbeschichtung, Solar.

Weit über 3000 im  Feld befindliche Sputterquellen, die täglich im robusten Industrieeinsatz sind, sprechen für die herausragende Qualität und Eigenschaften der Produkte von Gencoa.

Verständnis des Sputterprozesses, Auslegung eines passenden Magnetfeldes sowie produktionstaugliche und robuste mechanische Umsetzung sind Grundlage des Erfolges unserer Produkte.

Die Sputterquellen sind lieferbar in runder (D=50mm bis D=400 mm) sowie rechteckiger (Targetlängen bis 3800 mm) Ausführung. Varianten hierbei sind externe oder interne Montage sowie Cantilever.

Gemeinsame Konstruktionsprinzipien für alle Planaren Sputterquellen von Gencoa sind:

- Grosse Auswahl an Hocheffizienten Magnetsysteme, auf Wunsch prozessoptimiert

- Magnete nicht im Kühlwasser liegend

- Membrankühlung

- vielfältige mechanische Optionen

- robuste Ausführung mit großen Schrauben

- einfache Wartung

- 3D-Konstruktion mit ProEngineer