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Komponenten für die Dünnschichttechnik

DC Generatoren

Als Vertriebspartner von ADL bieten wir industrietaugliche DC-Sputterstromversorgungen mit einem Leistungsbereich von 500W bis 30 kW. Die Geräte verfügen über ein automatisches Arc-Handling und können durch Parallelschaltung zu grösseren Leistungen kombiniert werden.

Die Generatoren von ADL sind in 5 verschiedenen Typen erhältlich:

- Luftgekühlt: Serie GS

- Wassergekühlt: Serien GSW, GX und HX 


DC-Sputterstromversorgungen GS 05 - GS 150

Die kompakten Geräte sind für kleinere Magnetrons in Produktions- und Laboranlagen entwickelt worden. Durch die einfache und sichere Bedienbarkeit können die Stromversorgungen sehr flexibel eingesetzt werden. Das Arc-Handling paßt sich unterschiedlichen Prozeßparametern automatisch an, so daß kein Programmieraufwand notwendig ist. Die Geräte sind für den Einbau in 19"-Baugruppenträger konzipiert.

  • Ausgangsleistung 0,5 – 15,0kW
  • Luftkühlung
  • ½ 19″–Einbaugehäuse, 3 HE (GS05-GS30)
  • 19"-Einbaugehäuse, 3HE (GS60-GS150)
  • Austauschbare Schnittstellenmodule
  • Digitalanzeigen für Spannung, Strom und Leistung
  • Manuelle Bedienung über Frontpanel
  • Automatisches Arc-Handling

Download Broschüren:

GS05-GS30

GS60-GS150

DC-Sputterstromversorgungen GSW 100 – GS 300

Die wassergekühlten DC-Stromversorgungen der Serie GSW 100 – GSW 300 gibt es in drei Bedienvarianten: mit aktivem Frontpanel, mit passivem Frontpanel und mit Status-LEDs. Die Stromversorgungen können mit voller Nennleistung ohne Einschränkung der Einschaltdauer betrieben werden. Der Parallelbetrieb mehrerer Module bis max 240kW ist möglich. Die GSW-Serie verfügt, wie alle Stromversorgungen von ADL, über eine extrem schnelle, automatische Arc-Löschung. Die Bedienung der Geräte ist sehr einfach und sicher.

  • Ausgangsleistung 10 – 30kW
  • Wasserkühlung
  • 19″–Einbaugehäuse, 3 HE
  • Potentialfreier Ausgang
  • Automatisches Arc-Handling

Download Broschüre:

GSW150-GS300


Übersicht DC Generatoren

Serie Typ DC-Ausgang Kühlung Gehäuse
GS 05 bis GS 30 GS 05/800 0,5kW / 800V / 0,9A Luft 1/2 19", 3HE
  GS 10/800 1kW / 800V / 1,7A Luft 1/2 19", 3HE
  GS 15/800 1,5kW / 800V / 3A Luft 1/2 19", 3HE
  GS 20/800 2kW / 800V / 3,5A Luft 1/2 19", 3HE
  GS 30/800 3kW / 800V / 5,3A Luft 1/2 19", 3HE
  GS 05/1000 0,5kW / 1000V / 0,7A Luft 1/2 19", 3HE
  GS 10/1000 1kW / 800V / 1,4A Luft 1/2 19", 3HE
  GS 15/1000 1,5kW / 1000V / 2,4A Luft 1/2 19", 3HE
  GS 20/1000 2kW / 1000V / 2,8A Luft 1/2 19", 3HE
  GS 30 /1000 3kW / 1000V / 4,2A Luft 1/2 19", 3HE
  GS 12/2000 1,2kW / 2000V / 1A Luft 1/2 19", 3HE
GS 60 bis GS 150 GS 60/800 6kW / 800V / 10A Luft 19", 3HE
  GS 80/800 8kW / 800 V / 17A Luft 19", 3HE
  GS 100/800 10kW / 800V / 17A Luft 19", 3HE
  GS 120/800 12kW / 800V / 20A Luft 19", 3HE
  GS 150/800 15kW / 800V / 25A Luft 19", 3HE
GSW 100 - 300 GSW 100/800 10kW / 800V / 20A Wasser 19", 3HE
  GSW 150/800 15kW / 800V / 30A Wasser 19", 3HE
  GSW 150/1000 15kW / 1000V / 25A Wasser 19", 3HE
  GSW 200/800 20kW / 800V / 40A Wasser 19", 3HE
  GSW 200/1000 20kW / 1000V / 35A Wasser 19", 3HE
  GSW 250/800 25kW / 800V / 50A Wasser 19", 3HE
  GSW 300/800 30kW / 800V / 60A Wasser 19", 3HE
  GSW 300/1000 30kW / 1000V / 50A Wasser 19", 3HE
GX 50 - 150 GX 50/800 5kW / 800V / 14A Wasser 1/2 19", 3HE
  GX 60/800 6kW / 800V / 15A Wasser 1/2 19", 3HE
  GX 80/800 8kW / 800V / 20A Wasser 1/2 19", 3HE
  GX 100/800 10kW / 800V / 25A Wasser 1/2 19", 3HE
  GX 150/800 15kW / 800V / 38A Wasser 1/2 19", 3HE
HX 150 - 300 HX 150/800 15kW / 800V / 30A Wasser ca. 1/2 19", 5HE, Flanschmontage
  HX 200/800 20kW / 800V / 40A Wasser ca. 1/2 19", 5HE, Flanschmontage
  HX 250/800 25kW / 800V / 50A Wasser ca. 1/2 19", 5HE, Flanschmontage
  HX 300/800 30kW / 800V / 60A Wasser ca. 1/2 19", 5HE, Flanschmontage

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