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| Planare Sputterquellen: rund oder rechteckig |
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| In Deutschland, Österreich und der Schweiz vertritt Robeko exklusiv Gencoa - einen der führenden Hersteller planarer Magnetronsputterquellen. Das Lieferprogramm reicht über UHV-Quellen für die Forschung bis hin zu großflächigen Magnetrons für den industriellen Einsatz. |
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| Gencoa verfügt als einziger, unabhängiger Hersteller von Sputterquellen über tiefgehendes Prozesswissen und die Möglichkeit zur Prozessentwicklung im eigenen Haus. |
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| Unser umfangreiches Sortiment umfasst Rundquellen und Rechteckquellen für Targetabmessungen zwischen 50 mm Durchmesser und 4.000 mm Länge. |
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| Allen gemeinsam sind das sorgsam berechnete Magnetfeld, das durchdachte Design und ein vielfältiges Zubehör. Bei allen Sputterquellen können Sie zwischen verschiedenen, auf Ihren individuellen Prozess abgestimmte, Magnetfeldoptionen wählen: |
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| Standard High Yield (HY): Targetausnutzung >40% FFE - Full Face Erosion, hohe Targetausnutzung, optimal für Partikelfreiheit und Reaktivprozesse LOOP - sputtern magnetischer Materialien mit hoher Targetausbeute (40%) und großer Targetdicke Mz: Hochratesputtern von Metallen, Ausbeute: 70 - 80 % VTech: Variable Magnetfelder, im Prozess einstellbar. Ein ideales Entwicklungs- und Prozesswerkzeug, wenn Parameter im Prozess geändert werden sollen. |
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HU: hohe Schichtdickenhomogenität Sie sind wartungsarm und verfügen über vielfältige Einbauvarianten: Externe Montage |
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| Rolf Schäfer Beschichtungskomponenten Ackerwiese 14 D-67728 Münchweiler |
Tel.: +49/6302-609275 Fax: +49/6302-6090195 e-mail: info@robeko.de |
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