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Komponenten für die Dünnschichttechnik
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Montag, 02.03.2015 00:00

Mikrowellenplasmaquelle bei robeko

Schema Dual MW-Plasmaquelle

Plasma Potential MW-Plasmaquelle

robeko erhält eine weltweite Lizenz für Fertigung und Vertrieb einer am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) entwickelten Mikrowellenplasmaquelle. Hauptmerkmal der Plasmaquelle ist ein parabolischer Reflektor mit dem die Mikrowellenleistung in den Prozessraum eingestrahlt wird. Wichtige Eigenschaften der Quelle sind:
  • Arbeitsdruck identisch zu Sputterpressen
  • Sehr niedrige Ionenenergien: 2eV - 10eV
  • Hohe Ionenstromdichten von 1mA/cm2 auch bei Abstand 250 mm
Mit der Quelle werden zukünftig PVD/PECVD-Hybridprozesse möglich sein, die unter anderem die Hochrateabscheidung von kohlenstoffbasierten verschleißarmen Nanokompositen ermöglichen werden. Die Mikrowellenplasmaquellen sind derzeit als Rundquellen mit Flanschdurchmesser 250 mm erhältlich. Eine Version als Linearquelle ist in Entwicklung.
Ein erster Prospekt wird hier zum Download zur Verfügung gestellt.