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Komponenten für die Dünnschichttechnik
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Dienstag, 27.01.2015 18:16

Inline Sputteranlage ZV1200 fertiggestellt

Nach Ausbau der Anlagensteuerung sowie Integration eines Reaktivgasreglers "speedflo Mini" ist der Aufbau unserer Inline-Sputteranlage vorerst abgeschlossen. Die Anlage bietet im aktuellen Zustand umfangreiche Möglichkeiten wie Sputtern von Doppel-Rohrkathoden, drei Planarkathoden, einer Plasma(PECVD)-Quelle unter Verwendung einer Vielzahl aktuellster Generatortechnologien unterschiedlicher führender Hersteller.