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Komponenten für die Dünnschichttechnik
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Source de plasma à micro-ondes

robeko offre à Karlsruhe Institute of Technology (KIT) a développé la source plasma micro-ondes.

La caractéristique principale de la source de plasma est un réflecteur parabolique avec lequel la puissance micro-ondes est irradié dans l'espace de processus. Les caractéristiques importantes de la source sont:

  • Pression identique Travailler à Sputterpressen
  • Très basses énergies d'ions: 2 eV - 10 eV
  • Ions de haute densité de courant de 1 mA / cm2 et à une distance de 250 mm


Les procédés
PVD / PECVD hybrides source soit possible, ce qui permettra, entre autres, le dépôt à taux élevé de nanocomposites résistant à l'usure à base de carbone.

Les sources micro-ondes de plasma sont actuellement utilisés comme sources complètent avec un diamètre de 250 mm classes de performance disponibles.Les sont 1, 2 et 3 kW.

Des informations complémentaires sont disponibles dans la feuille suivante: MIRO-250-CI