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Komponenten für die Dünnschichttechnik
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Contrôle et surveillance des gaz de processus

Depuis janvier 2016 robeko distributeur de PLASUS GmbH de Mering près d'Augsbourg. PLASUS est un fabricant leader de systèmes de contrôle d'émission plasma spectroscopiques. 20 ans développent des solutions d'entreprise pour les installations industrielles et R & d pour le plasma processus contrôle, contrôle de processus, optimisation des processus, contrôle de la qualité et l'analyse spectroscopique de plasma.

EMICON MC

 

 

 

Les systèmes MC EMICON conviennent à presque toutes les applications dans la technologie plasma pour l'analyse du plasma, plasma contrôle, optimisation des processus, assurance qualité et contrôle de processus. Les systèmes clés en main de EMICON MC sont équipées avec toutes les fonctionnalités nécessaires pour l'observation des plasmas de processus typique et intégrés dans des systèmes de contrôle existants pour pouvoir être. Avec un gamme spectrale 200-1100 nm, les unités spectromètre EMICON MC couvrent l'UV-VIS-NIR. Le système EMICON MC peut être équipé avec jusqu'à huit canaux de spectromètre à des performances de vitesse même en ce qui concerne la collecte de données et de transfert de données. Le transfert de données entière est d├⌐sormais g├⌐r├⌐s 2.0 interface via un port USB, afin que les tâches de contrôle et de règlement peuvent être réalisés également avec un ordinateur portable. Le logiciel EMICON fournit un soutien puissant pour le plasma, plasma analyse et contrôle du procédé de surveillance : Template Manager, spectre arithmétique en temps réel, la lecture des données de mesures enregistrées et reconnaissance automatique de la courbe de la règle.

EMICON SA

 

 

Les systèmes EMICON SA ont été développés spécifiquement pour une utilisation dans les processus contrôle et assurance qualité dans les usines et lignes de production. L'unité processeur intégré fournit les seul fonctionnement 24/7 support et l'intégration facile du système via LAN ou Profibus-DP dans le contrôle de l'usine. Avec un gamme spectrale 200-1100 nm, les unités spectromètre EMICON SA couvrent l'UV-VIS-NIR.

Le système EMICON SA peut être équipé de jusqu'à huit canaux du spectromètre. En outre, il y a plusieurs entrées de tension sont disponibles pour la collecte et le traitement des signaux de capteur externe, par exemple des sondes lambda ou la tension de la cible. Paramètres du système via une connexion LAN seront fera sur software EMICON SA Manager. Intégration du système via Profibus ou LAN. Le système EMICON SA offre des fonctions étendues pour la surveillance de plasma et contrôle de processus : recette Manager, spectre arithmétique en temps réel, la lecture des données de mesures enregistrées et reconnaissance automatique de la courbe de la règle.

EMICON HR

 

Le système EMICON HR est un spectromètre à haute résolution spectrale de système et est conçu spécialement pour l'analyse spectrale détaillée du plasma et la surveillance de plasma, mais aussi pour le contrôle de processus et assurance qualité. Le seul canal EMICON HR est système avec toutes les fonctionnalités nécessaires pour analyser équipés pour l'observation des plasmas de processus et de détail.

Avec une plage spectrale de 200-860 nm, système EMICON RH couvre les parties importantes des gammes UV-VIS-NIR. Avec une 10 x meilleure résolution spectrale en comparaison avec les systèmes standards, cela permet beaucoup mieux spectrale séparation des atomes voisins et des vibrations et des raies de rotation moléculaire bandes EMICON HR. En raison de la conception compacte sans pièces mobiles et le transfert de données via une interface USB 2.0 peut EMICON HR système simplement et facilement transportés et utilisés dans diverses applications. Le logiciel EMICON fournit un soutien puissant pour l'analyse de spectre, pour l'analyse du plasma et la surveillance de plasma : spectre arithmétique en temps réel, la lecture des données de mesures enregistrées, gestionnaire de modèles et bien plus encore.