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Komponenten für die Dünnschichttechnik
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Cathode magnétron cylindrique

Cathodes cylindrique (e-cathodes) pour revêtement de verre

robeko et distributeur exclusif en Europe Centrale de Composants de pulvérisation, Inc. (SCI), un leader mondial de la pulvérisation cylindrique et des composants avec plus de 3000 installations dans les zones d'opération de revêtement du verre architectural, photovoltaïque, l'affichage et les revêtements optiques.

Avantages de cathodes de tubes sont longs vie en grande laydown et des rendements élevés de cibles et la formation de particules plus faible qu'avec pulvérisation plane et une meilleure stabilité du processus.

Les systèmes de SCI sont caractérisés par un design simple et robuste et facile à entretenir. Base de la technologie est le bloc de fin dans ses différentes variantes comme une halte-et cantilever. Avec systèmes magnétiques sophistiqués nous formons sources de pulvérisation intégrées pour une utilisation directe dans le système et la communication avec le contrôleur de système.