Plasmageneratoren
Wir arbeiten mit führenden Herstellern ADL, Magpuls und Seren IPS.
Planare und zylindrische Sputtertargets
Seit seiner Gründung liefert robeko Sputtertargets und Beschichtungsmaterialien für Aufdampfen und Lichtbogenverdampfung...
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Aufdampfmaterialien
Robeko liefert Aufdampfmaterialien für die verschiedensten Anwendungen und Verdamfungsverfahren
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Zylindrische Sputterquellen von SCI
Zylindrische Sputterquellen bzw. Rohrkathoden finden Anwendung in der Beschichtung von Architekturglas, Dünnschichtsolarzellen, Flachbildschirmen, Touch Panel Displays und Folien.
Vorteile von Rohrkathoden sind hohe Standzeit durch grosses Materialdepot sowie hohe Targetausbeuten sowie geringere Partikelbildung als bei Planaren Sputterquellen und bessere Prozesstabilität.
robeko bietet Rohrkathoden von Sputtering Components, Inc. einem der weltweit führenden Hersteller. [mehr]
Rückblick zur Hausmesse robeko / SCI am 9. Oktober
SCI und robeko blicken auf eine erfolgreiche Hausmesse zurück, die am 9. Oktober im Anschluß an das Internationale Sales Meeting von SCI in den Räumlichkeiten von robeko stattfand.
70 Kunden und Interessenten fanden den Weg in die Pfalz und erlebten interessante Vorträgen zu Themen "rund um die Sputtertechnologie" sowie praktische Demonstrationen der Rohrkathoden und Plasmaquellen von SCI und der Beschichtungsanlagen von robeko.
Die Veranstaltung bot Möglichkeit zum Austausch der Teilnehmer untereinander als auch mit den Vertretern der Veranstalter, was regen Anklang fand.
- robeko auf PV-Technology Show München
- robeko auf der Optatec Frankfurt 2014
- robeko bei der Beratung, Optatec Frankfurt 2014
Messen 2014
In 2014 sind wir auf folgenden Messen vertreten:
Optatec, Frankfurt, 20.-22. Mai 2014, Stand J28
ICCG, Dresden, 22.-26. Juni 2014
HIPIMS, Sheffield, UK, 30. Juni - 01. Juli 2014 (Seminare) und 02.-03. Juli (Ausstellung)
PSE, Garmisch, 15.-19. Sept. 2014
Inline Sputteranlage im Aufbau
- Gesamtansicht ZV1200
- Detail Sputterquellen PK750
Im Rahmen des vom BMBF geförderten Projektes "ERaBond" wird derzeit eine weitere Sputteranlage zur Abscheidung von Multilagenschichten aufgebaut. Die Basis der Maschine bildet das Prozessmodul einer gebrauchten Leybold Inline-Anlage des Typs ZV1200. Diese wird mit einer speziellen Automatisierung versehen welche die vollautomatische Abscheidung reaktiver Multilagenschichten ermöglicht.
Die Anlage ist für die beidseitige Beschichtung von Substraten eingerichtet. Eine Seite wird mit 3 Planarkathoden PK750 ausgestattet, auf der zweiten Seite werden eine Doppelrohrkathode und eine Planarkathode installiert. Hier einige Bilder der Anlage in der Aufbau- und Umrüstungsphase.
Die Inbetriebnahme ist für Mitte August 2013 vorgesehen.
Planare und zylindrische Sputtertargets
Seit seiner Gründung liefert robeko Sputtertargets und Beschichtungsmaterialien für Aufdampfen und Lichtbogenverdampfung.
Seit 2011 verfügen wir über eine eigene Stranggießanlage und können für In, Sn und Zn die komplette Prozesskette vom Umformen über das Zerspanen bis hin zum Beschichten und Bonden im eigenen Hause abdecken.
Die Lagerhaltung gängiger Materialien wie Al, Cr, Cu, Ti, W, Zr, usw. erlaubt uns schnelle Reaktion und kurze Lieferzeiten. (mehr)