Plasmageneratoren
Wir arbeiten mit führenden Herstellern ADL, Magpuls und Seren IPS.
Planare und zylindrische Sputtertargets
Seit seiner Gründung liefert robeko Sputtertargets und Beschichtungsmaterialien für Aufdampfen und Lichtbogenverdampfung...
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Aufdampfmaterialien
Robeko liefert Aufdampfmaterialien für die verschiedensten Anwendungen und Verdamfungsverfahren
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robeko
robeko ist ein europaweit tätiger Hersteller und Händler von Komponenten und Materialien für die vakuumbasierte Plasmabeschichtung. Unsere Kernkompetenzen liegen in Sputtertechnologie für Architekturglas, Photovoltaik, Werkzeugbeschichtung, Flachbildschirmherstellung und weiteren anspruchsvollen Anwendungen der Dünnschichttechnik.
Zylindrische Sputterquellen von SCI
Zylindrische Sputterquellen bzw. Rohrkathoden finden Anwendung in der Beschichtung von Architekturglas, Dünnschichtsolarzellen, Flachbildschirmen, Touch Panel Displays und Folien.
Vorteile von Rohrkathoden sind hohe Standzeit durch grosses Materialdepot sowie hohe Targetausbeuten sowie geringere Partikelbildung als bei Planaren Sputterquellen und bessere Prozesstabilität.
robeko bietet Rohrkathoden von Sputtering Components, Inc. einem der weltweit führenden Hersteller. [mehr]
Planare und zylindrische Sputtertargets
Seit seiner Gründung liefert robeko Sputtertargets und Beschichtungsmaterialien für Aufdampfen und Lichtbogenverdampfung.
Seit 2011 verfügen wir über eine eigene Stranggießanlage und können für In, Sn und Zn die komplette Prozesskette vom Umformen über das Zerspanen bis hin zum Beschichten und Bonden im eigenen Hause abdecken.
Die Lagerhaltung gängiger Materialien wie Al, Cr, Cu, Ti, W, Zr, usw. erlaubt uns schnelle Reaktion und kurze Lieferzeiten. (mehr)
- robeko auf PV-Technology Show München 2008
- EUPVSEC Hamburg 2012
- EUPVSEC Hamburg 2012
Messen 2013
In 2013 sind wir auf folgenden Messen vertreten:
HIPIMS2013, Braunschweig, 10. - 13. Juni 2013
28th EUPVSEC, Paris, 01. - 03. Oktober 2013
Gulf Glass, Dubai, 03. - 06. September 2013, auf dem Gemeinschaftsstand des BMBF
V2013, Dresden, 14. - 17. Oktober 2013
Inline Sputteranlage im Aufbau
- Gesamtansicht ZV1200
- Detail Sputterquellen PK750
Im Rahmen des vom BMBF geförderten Projektes "ERaBond" wird derzeit eine weitere Sputteranlage zur Abscheidung von Multilagenschichten aufgebaut. Die Basis der Maschine bildet das Prozessmodul einer gebrauchten Leybold Inline-Anlage des Typs ZV1200. Diese wird mit einer speziellen Automatisierung versehen welche die vollautomatische Abscheidung reaktiver Multilagenschichten ermöglicht.
Die Anlage ist für die beidseitige Beschichtung von Substraten eingerichtet. Eine Seite wird mit 3 Planarkathoden PK750 ausgestattet, auf der zweiten Seite werden eine Doppelrohrkathode und eine Planarkathode installiert. Hier einige Bilder der Anlage in der Aufbau- und Umrüstungsphase.
Die Inbetriebnahme ist für Mitte Juni 2013 vorgesehen.