robeko
robeko ist ein europaweit tätiger Hersteller und Händler von Komponenten und Materialien für die vakuumbasierte Plasmabeschichtung. Unsere Kernkompetenzen liegen in Sputtertechnologie für Architekturglas, Photovoltaik, Werkzeugbeschichtung, Flachbildschirmherstellung und weiteren anspruchsvollen Anwendungen der Dünnschichttechnik.
Zylindrische Sputterquellen von SCI

Zylindrische Sputterquellen bzw. Rohrkathoden finden Anwendung in der Beschichtung von Architekturglas, Dünnschichtsolarzellen, Flachbildschirmen, Touch Panel Displays und Folien.
Vorteile von Rohrkathoden sind hohe Standzeit durch grosses Materialdepot sowie hohe Targetausbeuten sowie geringere Partikelbildung als bei Planaren Sputterquellen und bessere Prozesstabilität.
robeko bietet Rohrkathoden von Sputtering Components, Inc. einem der weltweit führenden Hersteller. [mehr]
Planare und zylindrische Sputtertargets
Seit seiner Gründung liefert robeko Sputtertargets und Beschichtungsmaterialien für Aufdampfen und Lichtbogenverdampfung.
Seit 2011 verfügen wir über eine eigene Stranggießanlage und können für In, Sn und Zn die komplette Prozesskette vom Umformen über das Zerspanen bis hin zum Beschichten und Bonden im eigenen Hause abdecken.
Die Lagerhaltung gängiger Materialien wie Al, Cr, Cu, Ti, W, Zr, usw. erlaubt uns schnelle Reaktion und kurze Lieferzeiten. (mehr)
Messen 2012
In 2012 sind wir auf folgenden Messen vertreten:
SVC TechCon Santa Clara, 28. April - 3. Mai 2012
ICCG9, Breda (NL), 24. - 28. Juni 2012
13th PSE, Garmisch-Partenkirchen, 10. - 14. September 2012
27th EUPVSEC, Frankfurt, 24. - 28. September 2012
Glasstec, Düsseldorf, 23. - 26. Oktober 2012, auf dem Stand von SCI
Spezialanfertigungen für Sputteranlagen
Langjährige Erfahrung in Konstruktion und Fertigung von Sonderkomponenten sowie im Betrieb von Sputteranlagen ermöglicht uns die Umsetzung selbst komplexer Wünsche eines Kunden.
Wir fertigen nach eigener Konstruktion z.B. gekühlte Umgebungen, mehrteilige Gaseinlässe sowie Kombinationen hiervon. Möglich sind Kühleinheiten zum Schutz von Sputterquellen bei Prozesstemperaturen bis 800°C, gekühlte Sputterschutzbleche zur Wärmeabfuhr aus dem Sputterprozess mit integrierter 5- bis 7-Zonen Gaseinlaß sowie auf Aluminium gelötete Kupferrohrmäander und dergleichen mehr. [mehr]







