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Komponenten für die Dünnschichttechnik
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Donnerstag 01.01.1970 - 01:00

Plasmageneratoren

Wir arbeiten mit führenden Herstellern ADL, Magpuls und Seren IPS.

Donnerstag 01.01.1970 - 01:00

Planare und zylindrische Sputtertargets

Seit seiner Gründung liefert robeko Sputtertargets und Beschichtungsmaterialien für Aufdampfen und Lichtbogenverdampfung...

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Donnerstag 01.01.1970 - 01:00

Aufdampfmaterialien

Robeko liefert Aufdampfmaterialien für die verschiedensten Anwendungen und Verdamfungsverfahren

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Zylindrische Sputterquellen von SCI

Zylindrische Sputterquellen bzw. Rohrkathoden finden Anwendung in der Beschichtung von Architekturglas, Dünnschichtsolarzellen, Flachbildschirmen, Touch Panel Displays und Folien.

Vorteile von Rohrkathoden sind hohe Standzeit durch grosses Materialdepot sowie hohe Targetausbeuten sowie geringere Partikelbildung als bei Planaren Sputterquellen und bessere Prozesstabilität.

robeko bietet Rohrkathoden von Sputtering Components, Inc. einem der weltweit führenden Hersteller. [mehr]

Rückblick zur Hausmesse robeko / SCI am 9. Oktober

SCI und robeko blicken auf eine erfolgreiche Hausmesse zurück, die am 9. Oktober im Anschluß an das Internationale Sales Meeting von SCI in den Räumlichkeiten von robeko stattfand.

70 Kunden und Interessenten fanden den Weg in die Pfalz und erlebten interessante Vorträgen zu Themen "rund um die Sputtertechnologie" sowie praktische Demonstrationen der Rohrkathoden und Plasmaquellen von SCI und der Beschichtungsanlagen von robeko.

Die Veranstaltung bot Möglichkeit zum Austausch der Teilnehmer untereinander als auch mit den Vertretern der Veranstalter, was regen Anklang fand.


robeko auf PV-Technology Show München
robeko auf der Optatec Frankfurt 2014
robeko bei der Beratung, Optatec Frankfurt 2014

Messen 2014

In 2014 sind wir auf folgenden Messen vertreten:

Optatec, Frankfurt, 20.-22. Mai 2014, Stand J28

ICCG, Dresden, 22.-26. Juni 2014

HIPIMS, Sheffield, UK, 30. Juni - 01. Juli 2014 (Seminare) und 02.-03. Juli (Ausstellung)

PSE, Garmisch, 15.-19. Sept. 2014

 

 

 

Inline Sputteranlage im Aufbau

Gesamtansicht ZV1200
Detail Sputterquellen PK750

Im Rahmen des vom BMBF geförderten Projektes "ERaBond" wird derzeit eine weitere Sputteranlage zur Abscheidung von Multilagenschichten aufgebaut. Die Basis der Maschine bildet das Prozessmodul einer gebrauchten Leybold Inline-Anlage des Typs ZV1200. Diese wird mit einer speziellen Automatisierung versehen welche die vollautomatische Abscheidung reaktiver Multilagenschichten ermöglicht.

Die Anlage ist für die beidseitige Beschichtung von Substraten eingerichtet. Eine Seite wird mit 3 Planarkathoden PK750 ausgestattet, auf der zweiten Seite werden eine Doppelrohrkathode und eine Planarkathode installiert. Hier einige Bilder der Anlage in der Aufbau- und Umrüstungsphase.

Die Inbetriebnahme ist für Mitte August 2013 vorgesehen.


Planare und zylindrische Sputtertargets

Seit seiner Gründung liefert robeko Sputtertargets und Beschichtungsmaterialien für Aufdampfen und Lichtbogenverdampfung.

Seit 2011 verfügen wir über eine eigene Stranggießanlage und können für In, Sn und Zn die komplette Prozesskette vom Umformen über das Zerspanen bis hin zum Beschichten und Bonden im eigenen Hause abdecken.

Die Lagerhaltung gängiger Materialien wie Al, Cr, Cu, Ti, W, Zr, usw. erlaubt uns schnelle Reaktion und kurze Lieferzeiten. (mehr)